Model 764/769/774
可应用于：
等离子沉积
干式蚀刻
溅射/PVD/RTP
晶体生长/ 冷冻干燥机
加热700系列采用了高精确度的电容传感技术。电容传感技术。传感器协商该传感器协商系由两个电容电极和一个灵活的系由两个电容电极和一个灵活的隔膜封闭在一个密封的隔膜密封在一个密封室，以消除影响，气压室，以消除影响，气压变化和温度波动。
这一电容的变化被 Setra 的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号，该集成电路是根据西特技术负荷平衡原理设计的.产品可应用于抽高真空的测量和真空医疗等高精度测试所需的器件。设备具有体积小、灵敏度高，产品在工作期间其密封过程中的化学吸系统的密封过程中的化学吸系统激活保持完整的高活化保存完整的高真空参考。
产品性能参数
| 精度 | ±0.15% Reading |
|---|---|
| 分辨率 | 0.005% of FS |
| 补偿范围 | +15 to +40 |
| 零点偏移 | >1 torr = 0.002% FS ≤ 1 Torr = 0.005% FS |
| 量程偏移 | ±0.02%RDG/℃ |
| 满量程 | 0.05% |
| 输出 | 0-5VDC 0-10VDC |
